熱式氣體質(zhì)量流量計是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理,該儀表的傳感器由兩個基準級熱電阻(鉑RTD)組成。一個是質(zhì)量速度傳感器T1,一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當這兩個RTD置于被測氣體中時,其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個恒定的溫差,另一個傳感器T2用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體質(zhì)量流速的增加,氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降,要維持T1、T2恒定的溫度差,T1的加熱功率就要增大。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律。移動的氣體分子撞擊熱電阻時吸收帶走熱量,流量越大,接觸熱電阻的分子越多,吸收的熱量越多,熱吸收與某種氣體的分子數(shù),熱學(xué)特性和流動特性有關(guān)。
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